MEMS测试 - 压力传感器

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为什么需要光学测量技术？

      MEMS系统需要通过一些部分的动作用于传感和驱动

      微镜，加速计，陀螺仪，膜式传感器，压力传感器等…

      电路测试可用于设备是否正常工作的测试

      不能确定设备的精确行为

      不能测量到器件在工作过程中的实际形态变化.

                                  光学测量可以!

压力传感器的共振和工作振型

      最早的MEMS设备之一，各种类型，不同的应用

      一些和性能相关的参数，如膜厚度或内部应力无法通过电学方式测量

                         f = 227 kHz                                                  f = 437 kHz                                                      f = 842 kHz

压力传感器: 参数识别

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