MEMS测试 - 悬臂梁
2014-09-23 浏览： 4210 22bet www.extremefta.com
微悬臂是最简化但也是最多样化的MEMS设备
微悬臂是许多设备和应用程序的基本结构元素
Inertial sensors 惯导器件
RF MEMS 射频开关
Biomedical MEMS 生物微机系统
Energy Harvesting 能量回收系统
Molecule Detection 分子检测
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MEMS悬臂梁:有限元验证
MEMS悬臂梁的三维测试
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