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亚pm级位移分辨率
振型可视化
易于集成至探针台
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频率范围2MHz
高分辨率振动分析
动画显示结果
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频率高达 2.4GHz
详细显示振型
兼容普通 MEMS 探针站
高横向分辨率，用于测量短波长
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频率范围25MHz
MEMS器件3D振动测量
单点式/扫描式振动测量
兼容普通MEMS 探针测试台
